科研级大型气浮光学隔振平台

产品特点：

■中弘精密研发生产的科研级气浮光学隔振平台，能够满足精密负载对振动隔离需求，且面向大多数设备仪器提供通用化隔振解决方案，改善振动环境，以发挥设备仪器的效能。

■适合于显微镜、光路测试、光学测量、激光干涉、激光扫描、光谱实验等领域应用。

■优异的隔振性能：内置精密空气弹簧隔振系统，具备的固有频率，对多个方向的振动特别是垂直方向有着良好衰减效果，避免外界振动干扰设备仪器精度，提高仪器设备使用精度和使用效率。

■自动调节水平功能：放置负载的位置发生变化，平台迅速通过高精度阀门自动调整空气弹簧内部的气压，自动保持水平。气动元器件全部执行德国FESTO产品，标配优质超静音压缩机。

■台板采用钢制芯夹板结构,具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点，上面板为icr17优质高导磁不锈钢，经精密研磨处理，平面度高，回旋打磨工艺清除毛边，达到无反射、亚光效果，面板具有M6螺孔阵列，易于固定光学元件。

■隔振支撑为优质钢管焊接而成，整体坚固可靠。
■工作压力为0.35～0.6Mpa，标准配置调压过滤阀将保证空气弹簧的长期有效工作，用户只需要将气管连接进气口，就能使装置正常发挥隔振功能，气源可通过小型空气压缩机或氮气瓶供给，便于在安静场合使用。

ZHQF-30-15 3000mm×1500mm科研级大型气浮光学隔振平台技术指标：

■平面度：≤0.05mm/m²

■表面粗糙度：≤0.8μm
■固有频率；x方向：1.2Hz～2.0Hz  y方向：1.2Hz～2.0Hz

■振幅：<1.2μm
■荷载能力：150kg/m²

产品型号

规格尺寸(mm)

台面厚度(mm)

台面重量（kg）

支撑腿数量

ZHQF-06-06

600×600×800

80

54

4

ZHQF-075-075

750×750×800

85

ZHQF-09-06

900×600×800

100

81

ZHQF-10-07

1000×700×800

105

ZHQF-10-08

1000×800×800

120

ZHQF-12-08

1200×800×800

150

144

ZHQF-15-09

1500×900×800

200

202

ZHQF-15-10

1500×1000×800

210

ZHQF-16-09

1600×900×800

216

ZHQF-18-12

1800×1200×800

324

ZHQF-20-10

2000×1000×800

300

ZHQF-20-12

2000×1200×800

250

360

ZHQF-24-12

2400×1200×800

432

ZHQF-30-10

3000×1000×800

480

ZHQF-30-12

3000×1200×800

300

576

ZHQF-30-15

3000×1500×800

720

6

ZHQF-35-12

3500×1200×800

672

ZHQF-35-15

3500×1500×800

840

ZHQF-40-15

4000×1500×800

350

960

ZHQF-42-15

4200×1500×800

1008

8

ZHQF-48-15

4800×1500×800

400

1152

ZHQF-50-15

5400×1500×800

450

1200

12

ZHQF-60-15

6000×1500×800

1440

各种尺寸，异形平台均可定制

■重复定位精度：±0.05mm

ZHQF-30-15 3000mm×1500mm科研级大型气浮光学隔振平台选型表及参数：

台面规格

尺寸(mm)

载荷(kg)

支撑腿数量

支架宽度

06-06

600×600×800

800

4

120*120

075-075

750×750×800

09-06

900×600×800

10-07

1000×700×800

10-08

1000×800×800

12-08

1200×800×800

15-09

1500×900×800

1400

200*200

15-10

1500×1000×800

16-09

1600×900×800

18-12

1800×1200×800

20-10

2000×1000×800

20-12

2000×1200×800

20-15

2000×1500×800

24-12

2400×1200×800

24-15

2400×1500×800

2000

30-10

3000×1000×800

30-12

3000×1200×800

30-15

3000×1500×800

6

35-12

3500×1200×800

35-15

3500×1500×800

40-15

4000×1500×800

2500

42-15

4200×1500×800

8

48-15

4800×1500×800

50-15

5400×1500×800

12

60-15

6000×1500×800